型式　　　　コントローラー　XM-1500
　　　　　　ヘッド　XM-C1000
　　　　　　ヘッドベースモニター部　XM-M1200
　　　　　　ヘッドベース可動ステージ部　XM-S1200
　　　　　　カメラ　プローブ　ステージマーカー　XM-T1200

撮像素子　　400万画素　CMOS
測定範囲　　600×300×200(mm)
最小表示単位　　　１㎛
測定精度　　繰り返し精度　ステージロック時　　　　±3㎛
　　　　　　繰り返し精度　ステージアンロック時　　±4㎛
　　　　　　指示誤差　　　ステージロック時　　　　±8㎛
　　　　　　指示誤差　　　ステージアンロック時　　±（10+L/100）㎛
ステージ部　耐荷重　　　　25㎏
　　　　　　X軸可動範囲　±100mm
　　　　　　回転範囲　　　±60°
プローブ数　　　　　　　　2

✤仕様と現品に相違ある場合は、現品優先とさせて頂きます。