规格和检测结果（标准）
◆行程范围：X轴152mm，Y轴152mm（X轴150mm，Y轴150mm）
◆最大速度：X轴30mm/s，Y轴30mm/s（X轴30mm/s，Y轴30mm/s）
◆电机进给精度：X轴0.3μm，-2.5μm（±7μm）
Y轴0.1μm，-1.7μm（±7μm）
◆电机进给重复性：X轴1.7μm p-v（6μm p-v）
Y轴1.7μm p-v（6μm p-v）
◆校正值：X轴0.10000767，Y轴0.10000193
◆平台平面度：6μm（50μm/移动范围）
◆XY轴正交性：2.0英寸(60")
◆Z轴正交性：X轴15" (30")，Y轴3" (30")
◆刻度误差：X轴0.2μm，-0.3μm（±2.6μm/可移动范围）
Y轴0.4μm，-0.2μm（±2.6μm/可移动范围）
◆刻度重复性：X轴0.2μm p-v（3μm p-v）
Y轴0.1μm p-v（3μm p-v）
◆校正值：X轴0.10000447，Y轴0.10000193

✤如果规格与实际产品存在差异，以实际产品为准。