◆ 测量范围 ZX：12mm/50mm 臂，24mm/100mm 臂 x 200
◆ 精度 Z 轴指示精度（垂直方向）：±(0.3 2H/100)μm（H：测量高度 mm）
◆ 测量分辨率：50nm/50mm 臂，10nm/100mm 臂
◆ 精度 X 轴指示精度（水平方向）：±(0.5 L/200)μm（L：测量长度 mm）
◆ 采样间隔：0.05 至 20μm
◆ 直线度精度：(0.05 1.5L/1000)μm
◆ 传感方式 Z 轴（垂直方向）：高稳定双光路激光干涉仪
◆ 传感方式 X 轴（水平方向）：光学衍射光栅

✤ 如果规格与实际产品存在差异，实际产品优先。