사양 검사 결과(규격)
◆이동 범위：X152, Y152mm(X150, Y150mm)
◆최고속도：X 30, Y 30mm/s(X 30, Y 30mm/s)
◆모터 이송 정밀도：X 0.3μm, -2.5μm(±7μm)
　　　　　　Y 0.1μm, -1.7μm(±7μm)
◆모터 이송 재현성：X 1.7μm p-v(6μm p-v)
　　　　　　　Y 1.7μm p-v(6μm p-v)
◆ 보정값 : X 0.10000767, Y 0.10000193
◆재물대 평면도：6μm(50μm/가동 범위)
◆XY축 직교도：2.0"(60")
◆Z축 직교도：X15"(30"), Y3"(30")
◆스쿨 오차：X 0.2μm, -0.3μm(±2.6μm/가동 범위)
　　　　Y 0.4μm, -0.2μm(±2.6μm/가동 범위)
◆스쿨 재현성：X 0.2μm p-v(3μm p-v)
　　　　　Y 0.1μm p-v(3μm p-v)
◆ 보정값 : X 0.10000447, Y 0.10000193

✤사양과 현품에 차이가 있는 경우는 현품 우선으로 하겠습니다.