仕様　検査結果　（規格）
◆移動範囲：X 152、Y 152mm　（X 150、Y 150mm）　
◆最高速度：X 30、Y 30mm/s　（X 30、Y 30mm/s）
◆モーター送り精度：X +0.3μｍ、-2.5μｍ（±7μm）
　　　　　　　　Y +0.1μｍ、-1.7μｍ（±7μm）
◆モーター送り再現性：X 1.7μm p-v（6μm p-v）
　　　　　　　　　Y 1.7μm p-v（6μm p-v）
◆補正値：X 0.10000767、Y 0.10000193
◆載物台平面度：6μm（50μm/可動範囲）
◆XY軸直交度：2.0"（60”）
◆Z軸直交度：X　15"（30”）、Y　3"（30”）
◆スケール誤差：X +0.2μm、-0.3μm（±2.6μm/可動範囲）
　　　　　　　　Y +0.4μm、-0.2μm（±2.6μm/可動範囲）
◆スケール再現性：X 0.2μm p-v（3μm p-v）
　　　　　 　　　Y 0.1μm p-v（3μm p-v）
◆補正値：X 0.10000447、Y 0.10000193

✤仕様と現品に相違ある場合は、現品優先とさせて頂きます。