試験機 (SURFCOM 3000A-DX)
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| 分類 | 試験器 |
|---|---|
| メーカー | 東京精密 |
| 保管場所 | 本社マシンプラザ |
| 型式 | SURFCOM 3000A-DX |
| 年式 | 2016 |
| 管理番号 | 21103010 |
◆測定範囲ZＸ：12ｍｍ/50ｍｍ アーム,24ｍｍ/100ｍｍ アーム×200
◆精度 Ｚ軸指示精度(縦方向)：±(0.3+2Ｈ/100)μｍ(Ｈ:測定高さｍｍ)
◆測定分解能：50nm/50mm アーム、10nm/100mmアーム
◆精度 X軸指示精度(横方向)：±(0.5+L/200)μｍ(L:測定長さｍｍ)
◆サンプリング間隔：0.05～20μｍ
◆真直度精度：(0.05+1.5L/1000)μｍ
◆センシング方式 Z軸(縦方向)：高安定倍光路型レーザ干渉計
◆センシング方式 X軸(横方向)：光回折スケール
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