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スペック
◆ヘッド：IM-6225
◆撮像素子：1型660万画素・モノクロCMOS
◆ディスプレイ10.4型 LCDモニタ（XGA：1024×768）
◆広視野測定モード：φ100×L200mm
◆高精度測定モード：□25×L125mm
◆最小表示単位：0.1μm
◆Xステージ移動範囲：100mm（電動）
◆Zステージ移動範囲：30mm（電動）
◆Zステージ耐荷重：2kg
◆質量：（コントローラ）約8kg/（ヘッド）約31kg
写真 (16)
◆ヘッド：IM-6225
◆撮像素子：1型660万画素・モノクロCMOS
◆ディスプレイ10.4型 LCDモニタ（XGA：1024×768）
◆広視野測定モード：φ100×L200mm
◆高精度測定モード：□25×L125mm
◆最小表示単位：0.1μm
◆Xステージ移動範囲：100mm（電動）
◆Zステージ移動範囲：30mm（電動）
◆Zステージ耐荷重：2kg
◆質量：（コントローラ）約8kg/（ヘッド）約31kg